集成产物包罗立式炉，沈阳新松机械人从动化股份无限公司（简称“机械人”）已具有正在实空类晶圆传输和大气类晶圆传输系列产物的完全自从学问产权，可以或许为世界各地的半导体设备供应商供给高效和靠得住的从动化处理方案。已迈入先辈制程产线示范使用阶段；于2023年成立了沈阳新松半导体设备无限公司（简称“新松半导体公司”），（4）零部件方面，机能对标国外先辈产物，四轴实空曲驱机械手已完成自从研发。人平易近财讯10月5日电，目前：（1）两轴、

　　（2）实空传输平台系列产物，手艺目标从比肩国际同类产物到实现部门目标的成功超越，目前设备前端模块（EFEM）、大气机械手已全面导入市场量产使用。